Pfeiffer 普发磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上海伯东德国 Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范围在 1400-2800l/s 的磁悬浮涡轮分子泵. ATH 系列磁悬浮分子泵拥有5轴磁轴承监测系统和实时的转子位移自动修正功能确保长时间的稳定性和可靠性, 同时运行时也非常安静. 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 系列广泛应用于半导体, 镀膜和离子刻蚀等行业.
Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 优点
1. 清洁无油, 大抽速
2. 免维护低成本保养费
3. 更低的振动和噪音
4. 不受限的任意方向安装
5. 无工艺污染
上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速高 90,000 rpm, 极限真空大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 分子泵典型应用 >>
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