近几年超大规模集成电路的生产有了快速发展，对超纯水的水质也相应提出了更高的要求，超纯水中所含杂质的允许含量越来越低，同时需要控制的杂质种类也越来越多。为了更好有效的去除各种杂质，需要各种处理手段的综合运用。

　　超纯水处理设备分为三部分：预处理，初级处理和抛光精制处理。

　　1.预处理系统通常由过滤、杀菌和防氧化工艺组成；

　　2.初步处理系统主要由反渗透、离子交换器、膜脱气、紫外设备等组成；

　　3.精制处理部分通常包括TOCUv、抛光混床、膜脱气以及终端超滤装置。

　　超纯水处理设备的工艺优势:

　　1.具有一定的灵活性和调节余地，以适应水量的变化，管理方便、维修简单，合理地、充分地考虑操作自动化，减少操作劳动强度；

　　2.设备选型兼顾通用性和先进性，运行稳定可靠、效率高、管理方便、维修维护工作量少、价格适中；设计美观、布局合理，与周围设施统一协调考虑；

　　3.尽量采取措施减小对周围环境的影响，合理控制噪声、气味，妥善处理与处置固体废弃物，避免二次污染；

　　4.在系统整体设计中引入模块化概念，将主体处理设施分成几个并列运行的处理单元，可根据生产的实际情况以及实际水量的大小灵活运行，节省运行费用；

　　5.设备结构紧凑，占地面积小，便于安装和维修，节约用地。

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