上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供中空阴极 e-Mission
Hollow Cathodes 结构紧凑, 重量轻, 可以安装在离子源或真空系统的侧面, 相对于灯丝的模式有更长的使用寿命, 这在运行忌讳突然中断的复杂工艺时, 是非常有意义的. 而且离子源中空阴极 Hollow
cathode 辐射的热量更低, 可以使衬底获得更低的温度,对于对温度敏感的衬底材料而言, 使用中空阴极更有优势.
离子源中空阴极 Hollow Cathodes 型号
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Model
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HFx
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SHC1000
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DSHC1000
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Cathode
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Yes
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Yes
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Yes
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Neutralizer
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Yes
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Yes
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Yes
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Orientation
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Vertical /
Horizontal
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Vertical /
Horizontal
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Vertical /
Horizontal
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Regulation
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Emission
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Emission
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Emission
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Operational
gas
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None
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Inert
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Inert
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Process gases
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Inert &
reactive
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Inert &
reactive
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Inert &
reactive
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Power
Controller
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FC100x
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e- Mission
Power Pack
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e- Mission
Power Pack
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T: +86-21-5046-3511 ext 109 1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立
Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生
T: +86-21-5046-1322
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M: +86 152-0195-1076
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