离子源 e-Mission
上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供多个类型的低能量高密度的电子源, 从简单的热电子灯丝模式到中空阴极模式,典型应用在等离子和离子工艺中的阴极和阳极中和器, 通过技术完成电子的发射, 测量和束流控制, 广泛应用于对静电敏感和电介质材料领域.
离子源 e-Mission 模组化
模组化的设计有助于快速的更换维护, 节省成本. 耗材能在几分钟内进行更换, 超低的成本花费, 而且容易升级, 比如可以将浸入式灯丝的模式升级成非浸入式灯丝的模式.
离子源 e-Mission 功率控制
e-Mission 功率发生器通过严格的校准, 保障功率的发生, 测量和束流的控制, 因为电子束流的可控性可以实现负电荷的稳定性和可靠性.
离子源 e-Mission 模组
e-Mission 模组的选择取决于工艺目标, 真空系统, 运行周期和工艺材料.
离子源 e-Mission 应用
通常被用于等离子器件的理化工艺, 离子束源的中和器以及安装在磁控管阴极去改善溅射的能量, 同时也应用于分析仪器的电子源, 具体如下:
离子束中和器
等离子发生的离化
分析仪器中正相偏压电荷的中和
磁控溅射中电子流的增强
离子源 e-Mission Filament 灯丝型
灯丝电子源是一款成本低廉的阴极和中和器, 灯丝被加热到很高的温度产生可发射的热电子. 结构简单容易安装和使用, 可快速更换. 特别适合于快速回圈的工艺和执行时间较短的真空设备.
KRI 考夫曼离子源 e-Mission Filament
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Model
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HFx
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SHC 1000
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DSHC 1000
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Cathode
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Yes
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Yes
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Yes
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Neutralizer
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Yes
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Yes
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Yes
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Orientation
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Vertical /
Horizontal
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Vertical /
Horizontal
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Vertical /
Horizontal
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Regulation
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Emission
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Emission
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Emission
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1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立
Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
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