上海伯东代理美国原装进口 KRI 线性离子源使用 eH 400 做为模组, 能应用于宽范围的衬底, 离子源长度高达 1 米, 通过严格调整模组间的距离可以实现佳的均匀性和离子流. 由于模组是平行放置, 大大简化了气体, 功率和电子三者的分布. KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化, 一个低成本, 高电流和低能量的离子束可以很好的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.
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型号
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eHL400-2/
eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5
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供电
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DC magnetic
confinement
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- 电压
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40-200V VDC
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- 阳极结构
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模块化
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电源控制
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eHL-30010A
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配置
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-
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- 阴极中和器
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Filamentless
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- 离子束发散角度
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> 45°
(hwhm)
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- 阳极
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标准或 Grooved
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- 底座
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移动或快接法兰
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- 高度
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10 cm
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宽度
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10 cm
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- 长度
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~ 100cm
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-工艺气体
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Ar, Xe, Kr,
O2, N2, Others
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