硅片清洗设备 |
| 2022-11-12 8:30:00 发布者：北京市京徽龙江科技有限公司 |
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本机适用于2“-8”硅片清洗，整 机均采用纯天然聚丙烯（NPP德国进口） 材质焊接而成，本体前方安装有防护隔 离门，隔离门采用进口透明PVC板制成， 前门可以轻松开闭和高度任意限定，在 清洗过程中，隔离门关闭，以尽量改善 工作环境并减小对人体的伤害.其内部 结构组成：加热槽（均采用PVDF材料）、 QDR快排冲洗槽、冲洗水枪（PFA）、气 枪（PFA）、电气控制、废液排放及排 风系统等。工艺过程全自动，机械手在 槽间转换靠PLC来控制，美国进口导轨 和机械手来满足工艺时序整机耐酸性能 好，操作人性化，运行安全可靠，是半 导体生产线理想的硅片清洗设备。 硅片清洗设备 |
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