该规范适用于平面直角坐标系的影像测量仪。引用了几何量测量设备校准中的不确定度评定指南和影像测量仪的验收监测和复检监测。

其中涉及到较为重要的参数需要进行熟知。

1. 影像测量仪在平面上的尺寸测量误差(Exy):  该测量误差代表在影像测量平面上任意方向摆放产品或样件，测量二维尺寸的示值误差。

2. 影像测量仪在Z轴上的尺寸测量误差( Ez): 该测量误差代表在垂直于影像测量平面方向，单轴方向测量的示值误差。

3. 影像测量仪的测量头的尺寸测量误差(Ev) :在平台不做移动，在影像视场范围内测量平面任意尺寸的示值误差。

4. 影像测量仪测量各截面测量结果的一致性(Ec) :影像测量仪在光轴的不同截面上测量时，各截面坐标原点投影与XY平面的一致性，可以理解为影像测量仪沿Z方向上下移动时，Z轴与XY水平面之间的垂直程度，也可以反映测量头在不同高度用影像测量特性的一致性。

5. 影像测量仪二维探测误差(P2D) :用影像测量仪测量标准圆的半径变化幅度。

6. 影像测量仪测头的探测误差(PV) :用影像测量仪在视场范围内测量标准圆的半径变化幅度。

7.影像测量仪的变倍探测误差(Pz) :用影像测量仪在不同倍率下测量标准圆心坐标的示值变化幅度。