AE射頻電源維修 射頻發生器 中頻電源 PE II 10K

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美國AE PE II 10K射頻電源是Advanced Energy（AE）公司生產的一款射頻電源，廣泛應用于半導體制造、等離子鍍膜、刻蝕（如RIE、PECVD、ICP）以及CVD和PVD系統中。‌

常見故障原因與初步排查方法

如果設備出現故障，可以先從以下方面進行簡單檢查（但復雜維修建議交由維修人員操作）：‌

‌電源線路問題‌：

檢查電源插頭、線路是否松動或損壞，使用萬用表測量輸入的電壓是否穩定（如208V）。

‌散熱與環境因素‌：

確保設備通風良好，避免灰塵堆積導致過熱；環境溫度過高或濕度過大可能引發故障。

‌元器件老化‌：

頻繁開關機或超載運行可能導致元器件（如濾波電容、開關管）損壞。可觀察顯示屏是否有異常（如無顯示、亂碼）。